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防反射膜、透鏡以及攝像裝置.pdf

關 鍵 詞:
反射 透鏡 以及 攝像 裝置
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摘要
申請專利號:

CN201580052923.4

申請日:

2015.09.07

公開號:

CN106796308A

公開日:

2017.05.31

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):G02B 1/115申請日:20150907|||公開
IPC分類號: G02B1/115; B32B7/02; B32B17/06 主分類號: G02B1/115
申請人: 富士膠片株式會社
發明人: 高橋裕樹; 飯田毅
地址: 日本國東京都
優先權: 2014.09.30 JP 2014-202655
專利代理機構: 中科專利商標代理有限責任公司 11021 代理人: 王亞愛
PDF完整版下載: PDF下載
法律狀態
申請(專利)號:

CN201580052923.4

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2018.12.14|||2017.06.23|||2017.05.31

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

本發明提供一種粘附性優異的防反射膜、透鏡以及攝像裝置。對光學基材(11)的表面成膜碳氫膜(16),作為以高折射率層發揮功能的第1層(12)。在第1層(12)上成膜折射率低于第1層(12)的折射率的MgF2膜(17),作為以低折射率層發揮功能的第2層(13)。通過相同的方法形成包括碳氫膜(16)的第3層(14)、包括MgF2膜(17)的第4層(15)。利用RF磁控濺射裝置成膜碳氫膜(16)以及MgF2膜(17)。在成膜碳氫膜(16)時,將氬和氫的混合氣體供給至真空槽(22),將膜中的一部分C??C鍵取代為C??H鍵。通過氫化而切斷一部分C??C鍵,從而能夠釋放通過C??C鍵積存的應變即應力。可以獲得粘附性優異并且無膜破壞的防反射膜(10)。

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本文標題:防反射膜、透鏡以及攝像裝置.pdf
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