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一種具有結構解耦能力的雙質量塊音叉角速率陀螺儀.pdf

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一種 具有 結構 能力 質量 音叉 速率 陀螺儀
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摘要
申請專利號:

CN201610878919.X

申請日:

2016.10.08

公開號:

CN106813654A

公開日:

2017.06.09

當前法律狀態:

實審

有效性:

審中

法律詳情: 實質審查的生效IPC(主分類):G01C 19/5621申請日:20161008|||公開
IPC分類號: G01C19/5621(2012.01)I 主分類號: G01C19/5621
申請人: 南京理工大學
發明人: 楊海波; 蘇巖; 吳志強; 楊明明
地址: 210094 江蘇省南京市玄武區孝陵衛200號
優先權:
專利代理機構: 南京理工大學專利中心 32203 代理人: 朱沉雁
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201610878919.X

授權公告號:

|||

法律狀態公告日:

2017.07.04|||2017.06.09

法律狀態類型:

實質審查的生效|||公開

摘要

本發明公開了一種具有結構解耦能力的雙質量塊音叉角速率陀螺儀,包括上層真空封裝蓋板、下層硅襯底和中層單晶硅片,中層單晶硅片上設有陀螺機械結構,所述陀螺機械結構的兩個子結構對稱分布在質量塊連接機構和兩個桁架與水平直梁的組合機構的兩側,第一U型梁沿子結構的長邊設置,桁架與水平直梁的組合機構通過第一U型梁與子結構連接;直梁沿子結構寬度方向設置,用于連接子結構兩側的第一U型梁。本發明實現了驅動模態和檢測模態的運動解耦,降低了陀螺輸出的正交誤差,同時也實現驅動模態與檢測模態為第一階模態和第二階模態,有效抑制常見的驅動同向、檢測同向和Z向模態等干擾模態,其陀螺性能好,一致性強,抗振動干擾能力強。

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本文標題:一種具有結構解耦能力的雙質量塊音叉角速率陀螺儀.pdf
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