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一種檢測裝置、陣列基板檢測系統及其方法.pdf

關 鍵 詞:
一種 檢測 裝置 陣列 系統 及其 方法
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摘要
申請專利號:

CN201310630165.2

申請日:

2013.11.29

公開號:

CN103676234A

公開日:

2014.03.26

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):G02F 1/13申請日:20131129|||公開
IPC分類號: G02F1/13 主分類號: G02F1/13
申請人: 合肥京東方光電科技有限公司; 京東方科技集團股份有限公司
發明人: 盧彥春
地址: 230012 安徽省合肥市新站區銅陵北路2177號
優先權:
專利代理機構: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 代理人: 申健
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201310630165.2

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2016.06.01|||2014.04.23|||2014.03.26

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

本發明實施例提供一種檢測裝置、陣列基板檢測系統及其方法,涉及基板測試技術領域。能夠同時對陣列基板上反射率差異較大的各個膜層進行不良檢測。該陣列基板檢測系統包括檢測裝置,該檢測裝置通過采集裝置可以生成待測基板上反射率不同的各個膜層表面的灰階圖片,再利用處理器根據上述灰階圖片,得出待測基板的缺陷坐標圖。

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本文標題:一種檢測裝置、陣列基板檢測系統及其方法.pdf
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