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晶圓多次測試數據的整合方法.pdf

關 鍵 詞:
多次 測試數據 整合 方法
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摘要
申請專利號:

CN201310631845.6

申請日:

2013.11.29

公開號:

CN103678529A

公開日:

2014.03.26

當前法律狀態:

授權

有效性:

有權

法律詳情: 授權|||實質審查的生效IPC(主分類):G06F 17/30申請日:20131129|||公開
IPC分類號: G06F17/30 主分類號: G06F17/30
申請人: 上海華力微電子有限公司
發明人: 莫保章; 呂偉; 李雨凡
地址: 201210 上海市浦東新區張江高科技園區高斯路568號
優先權:
專利代理機構: 上海申新律師事務所 31272 代理人: 竺路玲
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法律狀態
申請(專利)號:

CN201310631845.6

授權公告號:

||||||

法律狀態公告日:

2017.01.18|||2014.04.23|||2014.03.26

法律狀態類型:

授權|||實質審查的生效|||公開

摘要

本發明公開了一種晶圓多次測試數據的整合方法,包括如下步驟:在對測試系統中存儲的任一批次晶圓的測試數據進行整合時,根據制造執行系統實時記錄的該批晶圓的信息,由整合系統判斷當前批次晶圓中是否有晶圓被拆分;在判定當前批次晶圓中有晶圓被拆分時,去除當前批次晶圓中不存在的晶圓的所有測試數據;由所述整合系統對當前批次晶圓中的每個晶圓的測試數據根據測試時采用的測試程式種類的不同進行整合,得到每個晶圓的測試數據整合結果。采用本發明的技術方案,能得到正確的測試數據整合結果,從而可以對晶圓的測試數據進行正確的判斷和分析。

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本文標題:晶圓多次測試數據的整合方法.pdf
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